扫描电子显微镜  型号：S-3400N               厂家：Hitachi, Ltd 

负责人：张吕平  
电 话：020-89023216 020-89023246 
传 真：020-84451672  
E-mail：lpzhang@scsio.ac.cn

扫描电子显微镜简介

电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，来实现高分辨率成像的仪器。
扫描电子显微镜(SEM)技术主要是利用二次电子成像：由聚光镜和物镜组成的电子光学系统将电子枪发射出的电子聚集成一极细的电子束聚集于样品的表面，按顺序对样品表面进行逐行扫描，用检出器收集样品表面发射出来的二次电子，经视频放大形成图像信息。该技术使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃，依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的景深和简易的操作方法，扫描电子显微镜(SEM)迅速成为一种不可缺少的工具,广泛应用于科学研究和工程实践中。
扫描电子显微镜的突出优点：1）能直接观察较大体积样品表面的三维立体结构，具有明显的真实感，弥补了透射电镜的不足；2）放大范围很宽（从 20-20000 倍之间连续变化），即使在高放大倍率时，也能获得很高的分辨率；3）样品制备方便等。
日立S-3400N扫描电子显微镜，中科院南海海洋研究所于2004年引进，安装在广东省应用海洋生物学重点实验室（中国科学院海洋生物资源可持续利用重点实验室）。2005年，本仪器加入“广州地区科学仪器协作共用网”，在完成本所的科研和分析测试任务的同时，广泛开展对外测试与合作。
名称：扫描电子显微镜
型号：S-3400N               厂家：Hitachi, Ltd 
主要配置及附件：  
1.主要配置： 主机单元、显示单元、机械泵、空气压缩机、隔振重块 
2.附    件： 全自动脱水仪、临界点干燥仪、离子溅射仪、喷碳仪 

技术指标 
分辨率： 3.0nm （30kV，二次电子，高真空模式） 
         10 nm （3kV，二次电子，高真空模式） 
4.0nm （30kV，背散射电子，低真空模式） 
放大倍率：5～300,000 倍 
加速电压：0.3～30KV 
低真空度：6～270Pa 
电 位 移：±50μm（工作距离为10mm时） 
样品尺寸：直径< 200mm 
电 子 枪：预对中钨灯丝 
物镜光阑：4孔可动（30，50，80，150μm） 
枪 偏 压：多级自偏压+固定偏压（4偏压） 
探 测 器：二次电子探测器 
          高灵敏5分割半导体型背散射电子探测器 
显 示 器：18寸LCD 

应用范围 
扫描电子显微镜应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等领域。扫描电子显微镜在材料的分析和研究方面应用十分广泛，主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。 

样品要求  
样品必须是固体，且无毒、无放射性、无污染；成分稳定,块状样品大小要适中, 样品直径：小于200mm，样品高度：小于80mm；粉末样品要进行特殊处理；对不导电和导电性能差的样品要进行镀膜。 

扫描电子显微镜联系办法 
负责人：张吕平  
电 话：020-89023216 020-89023246 
传 真：020-84451672  
E-mail：lpzhang@scsio.ac.cn  
地  址：广州市新港西路164号标本楼510房 
邮 编：510301  
开户行：中行广州海珠支行  
帐  号：835001078008091001  
收款人：中国科学院南海海洋研究所  

扫描电子显微镜服务项目及其收费标准 
服务项目     收费标准（元）  
样品制备    100.00/样 
    脱水    50.00/样  
临界点干燥    100.00/次（只做干燥150元/次） 
离子溅射    100.00/样 （只做溅射150元/次） 
高真空扫描电镜观察    200.00/ 1小时  
刻录光盘    10.0元/片 
打印照片    10.0/张 
注：普通用户按上表收费；本单位6折；符合广州地区科学仪器协作共用网规定条件的用户，手续齐全者按规定享受7折优惠。当仪器紧张时，优先完成广东省应用海洋生物学重点实验室的测试任务。   
  

扫描电子显微镜委托分析登记表

实验员：            收款：　　       负责人：